隔膜式真空泵是一種常見(jiàn)的真空泵，它采用了隔膜作為泵的工作部件。隔膜式真空泵具有體積小、操作簡(jiǎn)便、維護方便、無(wú)油污染、抽氣速度快等特點(diǎn)，在實(shí)驗室、醫療設備、化工、半導體加工等領(lǐng)域得到了廣泛的應用。
一、工作原理
隔膜式真空泵采用隔膜振動(dòng)來(lái)完成氣體的吸入和排出，其工作原理類(lèi)似于活塞泵。隔膜泵由兩個(gè)相互平行的隔膜組成，中間夾著(zhù)一個(gè)壓縮空氣的腔體，從而形成了四個(gè)密閉的腔室。分別為進(jìn)氣腔、壓縮腔、氣體排放腔和膜背面腔。當壓縮腔內的氣壓下降時(shí)，隔膜因外力受到的拉力向上移動(dòng)，同時(shí)將壓縮腔內的氣體壓縮。當隔膜向上運動(dòng)到極限位置時(shí)，氣門(mén)打開(kāi)，將壓縮的氣體排放到外界。然后隔膜因自重和真空作用力下落，進(jìn)入進(jìn)氣腔，從而在膜背面形成一個(gè)負壓，使得進(jìn)氣腔內的氣體被吸入，再次開(kāi)始循環(huán)工作。
二、主要優(yōu)點(diǎn)
1、無(wú)油污染：采用隔膜振動(dòng)抽氣，沒(méi)有潤滑油，因此不會(huì )產(chǎn)生油污染，在對氣體純度要求較高的領(lǐng)域有著(zhù)廣泛應用。
2、抽氣速度快：采用了高效的隔膜振動(dòng)技術(shù)，能夠快速抽出大量氣體。
3、體積小，操作簡(jiǎn)單：體積小巧，操作簡(jiǎn)單，維護方便，適用于實(shí)驗室和小型化工設備。
4、耐腐蝕性強：由于使用的材料耐腐蝕性強，因此可以在腐蝕性較強的介質(zhì)中進(jìn)行抽氣。
三、隔膜式真空泵的應用領(lǐng)域
1、分析儀器：如氣相色譜、質(zhì)譜儀、光譜儀等；
2、實(shí)驗室設備：如真空干燥器、冷凍干燥器、真空浸漬設備等；
3、化學(xué)工業(yè)：如蒸餾、冷凝、萃取等過(guò)程中的真空處理；
4、半導體制造業(yè)：如半導體器件制造、顯示器制造等的真空處理；
5、生物醫藥行業(yè)：如生物反應器、離心機、冷凍離心機等的真空處理。
隔膜式真空泵由于其不需要潤滑油，所以能夠避免油污染和廢棄物處理問(wèn)題，因此在一些對環(huán)境保護要求較高的領(lǐng)域也得到了廣泛應用。
